臭氧一般是由氧氣或空氣通過靜電放電產生的，臭氧發生器就是根據這個原理制造的。利用臭氧和氧氣沸點的差值法，通過分餾液化可以得到濃縮臭氧。雙原子氧通過電子輻射或暴露在紫外線輻射下自然產生臭氧。工業上用空氣或氧氣干燥，無聲放電，交流電壓5~25kV制成。此外，臭氧也可以通過低溫電解稀硫酸或加熱液氧獲得。

    通過不斷的研究和科技進步，這項技術已經達到了很高的水平。臭氧發生器電暈放電處理是模擬自然界雷擊產生臭氧的方法。電暈是氣體中人工交變高壓電場產生的，電暈中的自由高能離子解離碰撞聚合形成O2分子。電暈放電臭氧發生器應用廣泛，相對能耗低，臭氧產量高，市場占有率高。